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白光干涉薄膜厚度测量仪Delta
白光干涉薄膜厚度测量仪Delta
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  • 产品特点

    快速、准确、无损、灵活、易用、性价比高

    应用案例

    应用领域                        


    半导体(SiO2/SiNx、光刻胶、MEMS,SOI等)、LCD/TFT/PDP(液晶盒厚、聚亚酰胺ITO等) 、LED (SiO2、光刻胶ITO等)、触摸屏(ITO AR Coating反射/穿透率测试等) 、汽车(防雾层、Hard Coating DLC等)、医学(聚对二甲苯涂层球囊/导尿管壁厚药膜等)

    技术参数

    型号

    Delta-VIS

    Delta-DUV

    Delta-NIR

    波长范围

    380-1050nm

    190-1100nm

    900-1700nm

    厚度范围

    50nm-40um

    1nm-30um

    10um-3mm

    准确度1

    2nm

    1nm

    10nm

    精度

    0.2nm

    0.2nm

    3nm

    入射角

    90°

    90°

    90°

    样品材料

    透明或半透明

    透明或半透明

    透明或半透明

    测量模式

    反射/透射

    反射/透射

    反射/透射

    光斑尺寸2

    2mm

    2mm

    2mm

    是否能在线

    扫描选择

    XY可选

    XY可选

    XY可选

    注:1.取决于材料0.4%或2nm之间取较大者。

           2. 可选微光斑附件。


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